LEM- en FEM-modellering zijn nuttige methoden voor het voorspellen van thermisch gedrag en het evalueren van strategieën om thermische drift te beperken in zeer nauwkeurige technische systemen zoals long-stroke en short-stroke actuators van wafer stages. In het artikel wordt gedetailleerd uiteengezet hoe beide methoden kunnen worden toegepast op het spiegelblok van een waferstage. LEM-modellering wordt vaak gebruikt om thermisch gedrag van complexe systemen te modelleren, omdat het snelle en relatief eenvoudige modellering van tijdsafhankelijke verwarmings- en koelproblemen mogelijk maakt. Als temperatuurverschillen binnen componenten niet verwaarloosbaar zijn, is het gebruik van ruimtelijke discretisatiemethoden zoals FEM noodzakelijk, wat rekenkundig duurder is, maar wel het vereiste detailniveau kan leveren.
De afbeelding op het voorblad toont een non-uniforme temperatuursverdeling in een spiegelblok van een waferstage, als gevolg van thermische dissipatie veroorzaakt door wervelstromen in de magneten die aan de onderkant zijn bevestigd. De vlakheid van de spiegelvlakken kan worden vervormd vanwege de ongelijkmatige thermische uitzetting.
Lees het volledige artikel hier.
